国家知识产权局信息显示,山东力冠微电子装备有限公司申请一项名为“一种前开式晶圆盒开启前的洁净装置”的专利,公开号CN121372997A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,具体公开了一种前开式晶圆盒开启前的洁净装置,包括装载设备,装载设备的顶部设置有前开式晶圆盒,前开式晶圆盒的内部插接有盒盖,装载设备外壁固定滑动安装有安装件,安装件设置在盒盖的一侧,安装件的内部固定安装有电动推杆和滤芯;清洁组件,清洁组件用于对前开式晶圆盒和盒盖进行清洁和拆分,清洁组件与安装件、电动推杆和滤芯相连接。通过设置清洁组件,在前开式晶圆盒没有打开时,与盒盖和前开式晶圆盒形成密封空间,并对密封空间中的杂质进行洁净,减少前开式晶圆盒和盒盖外壁和附近杂质的数量,减少晶圆被污染的情况,确保晶圆的洁净度,提高晶圆加工后的良品率。
天眼查资料显示,山东力冠微电子装备有限公司,成立于2013年,位于济南市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1050万人民币。通过天眼查大数据分析,山东力冠微电子装备有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目83次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息61条,此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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