国家知识产权局信息显示，广东工业大学;广东大族半导体装备科技有限公司申请一项名为“一种磨削砂轮及使用其的碳化硅电化学纳米磨削方法”的专利，公开号CN121374442A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种磨削砂轮及使用其的碳化硅电化学纳米磨削方法。磨削砂轮包括砂轮环、砂轮块和超声振动模块；砂轮块设置有多个，且多个砂轮块间隔设置于砂轮环的底部，超声振动模块安装于砂轮环的顶部；砂轮块包括芯体和包裹于芯体外部的外层；芯体具有孔洞结构；外层的原料包括复合磨粒、活性金属、碳纤维和导电结合剂，且复合磨粒、活性金属和碳纤维镶嵌于由导电结合剂固化而成的导电基体的内部。本方案提出的磨削砂轮，一方面可有效增强磨削砂轮的磨削力和磨削比，进而大幅提升将其用于电化学纳米磨削时的磨削效率，另一方面可大幅减少电化学纳米磨削时磨削砂轮的损耗与损伤，从而延长磨削砂轮的使用寿命。

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作者：情报员