国家知识产权局信息显示,源能智创(江苏)半导体有限公司申请一项名为“一种基板双面图形对准曝光方法”的专利,公开号CN121386314A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本发明提供一种基板双面图形对准曝光方法,方法包括:选取基板正面边缘轮廓上的至少三个顶点为第一组对位点,图像获取装置逆光获取第一组对位点图像;依据第一组对位点图像信息将第一初始图形调整为第一修正图形,依据第一修正图形对基板正面曝光;选取基板背面边缘轮廓上的至少三个顶点为第二组对位点,图像获取装置逆光获取第二组对位点图像;依据第二组对位点图像信息将第二初始图形调整为第二修正图形,依据第二修正图形对基板背面曝光。本发明通过第一组对位点和第二组对位点建立起关联的对位标记,不需要制作激光靶标,解决没有板边预留区域,或者感光材料不显色情况下,基板两面图形需要对准的问题。

天眼查资料显示,源能智创(江苏)半导体有限公司,成立于2018年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,源能智创(江苏)半导体有限公司参与招投标项目16次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息44条,此外企业还拥有行政许可11个。

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作者:情报员