国家知识产权局信息显示,正奇光能科技有限公司申请一项名为“用于增强化学气相沉积的反应腔及等离子体均匀化方法”的专利,公开号CN121380922A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明涉及气相沉积技术领域,且公开了用于增强化学气相沉积的反应腔,包括腔体主体,所述腔体主体的两端分别设置有气体入口和抽气口,所述腔体主体的内壁表面设置有绝缘屏蔽层,所述腔体主体的内壁环绕设置有磁场增强组件,靠近腔体主体内壁底部设置有载物台,所述腔体主体的内壁靠近上端设置有子电极,所述腔体主体包括圆柱形和矩形,所述载物台内部集成加热装置,磁场增强组件通过径向磁场约束等离子体,减少与腔壁的碰撞损耗,使边缘区域等离子体密度提升20%‑30%;分布式射频电极可实现分区功率调控,结合实时监测数据动态补偿,使硅片表面薄膜厚度均匀性误差控制在±2%以内。
天眼查资料显示,正奇光能科技有限公司,成立于2023年,位于马鞍山市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本40000万人民币。通过天眼查大数据分析,正奇光能科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目18次,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可36个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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