国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司取得一项名为“晶舟升降机构监控装置、炉管升降系统和半导体设备”的专利,授权公告号CN223844274U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶舟升降机构监控装置炉管升降系统和半导体设备,该监控装置包括第一压力传感器、第二压力传感器、第一挡板和第二挡板;第一压力传感器和第二压力传感器均与安装于晶舟升降机构的丝杆上的螺母固定连接,且第一压力传感器位于第二压力传感器的上方;第一挡板和第二挡板分设于丝杆的轴向两端,当晶舟升降机构上升至上限点位时,第一压力传感器能够挤压第一挡板,当晶舟升降机构下降至下限点位时,第二压力传感器能够挤压第二挡板,其中,上限点位为使得炉管完全密封时的理论点位,下限点位为使得晶舟到达晶圆传输位置时的理论点位。本实用新型不仅可以实现对晶舟升降机构的位置的监控,而且可以监控炉管的密闭性

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1586条,此外企业还拥有行政许可22个。

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作者:情报员