近日,经区县推荐、资格审核和综合评定,中共重庆市委宣传部、中共重庆市委文明办评选产生了2025年第二批次“重庆好人”共80名(组)。重庆高新区党工委宣传部推荐的北京理工大学重庆微电子研究院院长、首席科学家谢会开获评敬业奉献“重庆好人”。
谢会开,男,1967年2月生,北京理工大学教授、博士生导师,北京理工大学重庆微电子研究院院长、首席科学家。他在微电子领域深耕30余年,怀揣“科技报国”信念,毅然放弃海外优厚条件回到家乡,从零起步建立北京理工大学重庆微电子研究院。他带领团队攻坚克难,在微电子领域实现多项重大突破:自主研发的LTD单轴静电微振镜芯片打破国外垄断,3D工业相机填补国内空白,FTS-DT-101型微型近红外光谱仪实现民生领域应用。他牵头建设的MEMS先进微纳工艺研究中心,已成为国内领先的MEMS微镜设计与工艺研究平台。如今,年近六旬的他依然坚持每天工作12小时,积极推动科研成果在山城落地生根。谢会开曾获第四届中国科技产业化促进会科学技术奖卓越贡献奖、2024十大重庆科技创新年度人物、西部(重庆)科学城“金凤凰”杰出人才等荣誉。
科技报国、产业兴渝的微电子领域专家
一毅然归国,打造国内一流科研院所
谢会开在微电子领域的研究长达30多年,他本科就读于北理工微电子专业,1996年出国深造,在美国卡内基梅隆大学获得博士学位,之后在佛罗里达大学开启了18年的教授生涯。在这期间,谢会开勤奋耕耘,在MEMS领域积累了深厚的科研经验,获得了数十项美国和国际专利。
事业如火如荼之际,他收到了回国发展的邀约。当时,他已成为海外高校终身教授,要做放下一切立即回国的决定并不容易。但对他来说,能够为祖国贡献毕生所学,是他一直满怀期待的,更何况他的故乡就是重庆。此外,随着国际芯片市场风云变幻,科技正成为大国竞争的核心要素,研究成果在A国商业化还是在B国,产生的效应截然不同。海外游子,思乡心切,他当即决定,回国。
2021年12月,北京理工大学重庆微电子研究院正式入驻西永微电园科研大楼,谢会开任院长。一切都需要从零起步,团队只有十来个人,人手严重不足;办公室也才刚开始装修,设施设备同样需要逐步完善。最让他着急的还是MEMS研发线的开工建设,项目一度停滞,而真正施工起来,方案又不停改动,被迫搁浅,整个方案前前后后改了20多版,耗时一年半。
在他和团队的不懈努力和推动下,2023年11月,首期投资1.5亿元的MEMS工艺线成功通线,成为西部地区唯一一条世界级的MEMS全流程工艺研发线。北京理工大学重庆微电子研究院也从此跻身国内一流微电子科研院所,吸引源源不断的人才加入其中,扎根重庆。
二攻坚克难,成就“小盒子”精彩亮相
“深耕科研铸利器,学成归国报家国”是谢会开多年的信念。为推动电热芯片研发,他倾注了近30年心血:在北理工中关村校区,曾为调试以微镜芯片为核心的微型近红外光谱仪至深夜,仅在实验室外以馒头、泡面充饥;在重庆北理微电院微纳工艺线,常年戴着两三层塑胶手套开展微镜芯片流片工作,手掌被汗水浸泡成常态;北京与重庆1400多公里的距离,因芯片研发成为他最熟悉的行程轨迹。
在他的带领下,研究院接连突破关键技术,成功研发出LTD单轴静电微振镜芯片、LVD线性扫描电热微镜、3D工业相机等一系列先进成果。2024年,谢会开团队成功研发出微型FTS光谱仪,即一个半个巴掌大的“小盒子”。采用的全球首款超大位移电热MEMS微镜及独特的光学设计,是这款拥有完全自主知识产权的光谱仪的“心脏”,微型FTS光谱仪可在食品、农业、石油化工等领域广泛应用。
为了让这颗“心脏”的稳定性保持最优状态,研发团队多名核心成员坚持不懈寻找适合做芯片的材料,共收集处理了4000多个样品数据。通过无数个日夜数不清的反复试验,终于从浩如烟海的备选材料中找到了满足要求的金属和介电质双材料组合。
万丈高楼平地起,在谢会开的带领下,北京理工大学重庆微电子研究院仅用了两年半时间,就成为国内最前沿的MEMS研究中试平台之一。尤其是他一手打造的MEMS先进微纳工艺研究中心,已是目前国内唯一一个掌握全驱动机理MEMS微镜设计与工艺的科研机构。
三行稳致远,让更多领域用上中国“芯”
谢会开始终坚信:“核心技术唯有落地产业化,方能避免沦为‘空中楼阁’。”为此,他带领团队锚定消费电子对高效率、小尺寸电源芯片的需求,研发出CMOS兼容的集成无源功率器件,并推动研究院与中电科芯片技术(集团)有限公司、联合微电子中心等本地企业,及华为、万集科技等行业头部企业开展紧密产学研合作,让科研与产业需求深度绑定。
以北京理工大学重庆微电子研究院为平台,他牵头的MEMS与智能微系统研究所聚焦智能化、轻量化、微型化多功能集成声光电系统关键技术,拓展其在物联网、自动驾驶、生物医疗、航空航天等领域的应用,持续推动产学研融合向纵深发展。2024年,团队建成国内领先的MEMS微纳工艺线,超净面积逾1100平方米,具备高精度、高效率加工能力,实现特色MEMS研发及产业化全链条支撑。
如今,年近六旬的他仍每天工作12小时,带领200余人团队建成西部领先的6吋MEMS工艺线,推动科研成果在山城落地生根。从农家子弟到国际学者,从实验室到生产线,谢会开用三十年如一日的坚守诠释了“把论文写在祖国大地上”的报国情怀,为重庆打造“33618”现代制造业集群体系注入强劲创新动能,以持续创新践行“科技报国”初心。
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