国家知识产权局信息显示,科磊股份有限公司申请一项名为“工艺条件测量装置的制造及实施方法”的专利,公开号CN121420677A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,一种工艺条件测量装置可包含由底部衬底、间隔件及盖制成的衬底。所述工艺条件测量装置可包含组件。所述组件可安置于由所述底部衬底界定的腔及由所述间隔件界定的通孔内。所述盖可安置于所述组件上方且覆盖所述组件。所述盖可为全盖或部分盖。所述组件也可安置于由所述盖界定的凹槽内。所述工艺条件测量装置还可包含囊封所述组件的绝缘层

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作者:情报员