国家知识产权局信息显示，苏州苏纳光电有限公司申请一项名为“电子束镀膜设备”的专利，公开号CN121407028A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本公开提供了一种电子束镀膜设备，属于PVD镀膜领域。该电子束镀膜设备，其包括上料腔室、工艺腔室、过渡腔室和伞架流转机构；上料腔室用于容纳并定位携带晶圆的伞架；工艺腔室用于在真空条件下对晶圆进行镀膜处理；过渡腔室设置于上料腔室与工艺腔室之间，并提供用于将伞架从上料腔室转运至工艺腔室的通道，过渡腔室与上料腔室和工艺腔室分别真空隔离；伞架流转机构包括可沿竖直方向运动的承载平台以及可沿水平方向运动的机械臂，伞架流转机构被构造成在不破坏工艺腔室真空的条件下，将位于上料腔室中的伞架经过渡腔室转运至工艺腔室。本公开提供的电子束镀膜设备，可抑制水汽与颗粒进入，提升膜厚、沉积速率的复现性与良率。

天眼查资料显示，苏州苏纳光电有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本626.9992万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州苏纳光电有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目31次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息183条，此外企业还拥有行政许可7个。

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作者：情报员