国家知识产权局信息显示,北京铭镓半导体有限公司申请一项名为“一种利用HVPE在蓝宝石衬底外延生长纯相α-Ga2O3的工艺方法”的专利,公开号CN121407216A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种利用HVPE在蓝宝石衬底外延生长纯相α‑Ga2O3的工艺方法,包括以下步骤:S1、将蓝宝石衬底进行清洗、烘干;S2、将蓝宝石衬底放入HVPE反应室,在氢气气氛下进行高温热处理;S3、在蓝宝石衬底上外延生长α‑Ga2O3薄膜;S4、将生长有α‑Ga2O3薄膜的蓝宝石衬底在氧气气氛下进行退火处理。本发明通过优化HVPE生长工艺参数,结合特定的预处理和后退火工艺,能够在蓝宝石衬底上实现纯相α‑Ga2O3薄膜的外延生长,有效抑制了β‑Ga2O3等杂相的生成,提高了α‑Ga2O3薄膜的晶体质量和相纯度。
天眼查资料显示,北京铭镓半导体有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2159.28086万人民币。通过天眼查大数据分析,北京铭镓半导体有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息59条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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