国家知识产权局信息显示,卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“结构确定”的专利,公开号CN121420325A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明提供了一种方法,该方法包含确定在半导体样本中提供的代表性基准真实结构,所述半导体样本具有多个结构,其主要在含有所述多个结构的针对性区域中沿该样本的厚度方向延伸。此外,确定铣削样本的至少一个调适图像,其中该至少一个调适图像包含沿厚度方向在不同位置处的针对性区域中结构的图像表示。一转换被确定,通过该转换,结构的沿厚度方向的不同位置处的图像表示建立该基准真实结构,并且该转换被储存,以供该转换稍后应用于另外具有多个结构的样本。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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