国家知识产权局信息显示,盖泽精密科技(苏州)有限公司申请一项名为“一种晶圆的真空检测设备”的专利,公开号CN121419604A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种晶圆的真空检测设备,包括真空腔一、真空腔二、真空阀门组一,真空腔一内设有载台一,载台一用于上下料中转,包括多个上下层叠设置的支撑台,支撑台用于放置晶圆;真空阀门组一设于真空腔一与真空腔二之间,用于连通或者隔离真空腔一与真空腔二;真空腔二内设有检测模块,检测模块包括载台二、移栽机构、取料机械臂、检测机构,载台二用于定位晶圆,移栽机构的输出端设有载台二,用于驱动载台二在检测工位与取料工位之间移动,检测机构设于检测工位,用于检测晶圆,取料机械臂用于输送晶圆。本发明通过设置上下料中转的小真空腔及减小检测真空腔体积,可大大减少抽真空时间,提高了检测效率,节省了资源和生产成本。

天眼查资料显示,盖泽精密科技(苏州)有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1040.9356万人民币。通过天眼查大数据分析,盖泽精密科技(苏州)有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息18条,专利信息32条,此外企业还拥有行政许可5个。

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作者:情报员