国家知识产权局信息显示，松山湖材料实验室、东莞市卓聚科技有限公司申请一项名为“一种光刻机的真空控制系统”的专利，公开号CN121411084A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本申请提供了一种光刻机的真空控制系统，真空控制系统包括预抽腔体、工作腔体、光刻机腔体、门阀、第一真空规、联通阀、第二真空规、机械泵、第一机械泵阀、分子泵、第一控制设备和第二控制设备，其中，工作腔体设置在预抽腔体和光刻机腔体之间，门阀设置在工作腔体和预抽腔体分别对应的送样轨道之间，机械泵通过第一机械泵阀连接预抽腔体，第一真空规连接预抽腔体，联通阀设置在预抽腔体和工作腔体之间，分子泵连接工作腔体，第二真空规连接光刻机腔体，光刻机腔体与工作腔体联通，第二控制设备分别连接第一控制设备、门阀、第一真空规、联通阀、第二真空规、机械泵、分子泵和第一机械泵阀。

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作者：情报员