国家知识产权局信息显示，先导科技集团有限公司申请一项名为“光学超表面工艺检测方法、系统及测试结构”的专利，公开号CN121409865A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本申请涉及一种光学超表面工艺检测方法、系统及测试结构，包括：获取目标测试结构的晶圆生长材料和晶圆镀膜材料的材料特征参数；根据材料特征参数对待测区域内的超表面纳米柱结构进行仿真，得到色彩信息与结构特征参数的参考对应关系；基于光谱信息采集设备采集目标测试结构上各待测区域的色彩信息，并结合超表面纳米柱结构的单元结构的结构特征参数，得到色彩信息与结构特征参数的实际对应关系；在参考对应关系和实际对应关系的误差小于或等于预设误差阈值的情况下，确定目标测试结构的工艺加工结果符合要求。本实施例提供的工艺检测方法无需SEM设备扫描，可以有效减少工艺检测的设备成本，并提升工艺检测效率。

天眼查资料显示，先导科技集团有限公司，成立于2011年，位于广州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5001万人民币。通过天眼查大数据分析，先导科技集团有限公司共对外投资了57家企业，参与招投标项目1次，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可8个。

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作者：情报员