国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于机器人校准的系统和方法”的专利，公开号CN121420682A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本公开提供了一种校准衬底输送装置的方法，所述衬底输送装置包括：第一衬底支撑件和第二衬底支撑件、与所述第一衬底支撑件相关联的第一机器人臂、以及与所述第二衬底支撑件相关联的第二机器人臂，其中，所述第一衬底支撑件设置有第一传感器，所述第一传感器是用于感测衬底的边缘的边缘传感器，第二传感器，所述第二传感器相对于所述第二衬底支撑件布置在预定距离处，所述第二传感器是光学传感器，所述方法包括：使用所述第二传感器相对于所述第一衬底支撑件和所述第二衬底支撑件校准所述第一机器人臂和所述第二机器人臂的步骤。

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作者：情报员