国家知识产权局信息显示,华海清科(北京)科技有限公司申请一项名为“基板处理装置、清洗装置及清洗方法”的专利,公开号CN121419596A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本公开的实施例涉及夹持机构技术领域,本公开提供了基板处理装置、清洗装置及清洗方法,基板处理装置包括:主体,所述主体转动设置;卡爪,所述卡爪移动设置在所述主体上,数量大于等于六个,且分为第一爪组和第二爪组;驱动组件,所述驱动组件包括轴体和转动推件,所述轴体用于驱动所述主体旋转,所述转动推件能够带动外周的凸起相对所述主体旋转推动所述第一爪组和所述第二爪组沿基板的径向交替打开,避免产生清洗盲区。通过上述技术方案,所述第一爪组和所述第二爪组在夹持状态和松开状态之间转换,卡爪为松开状态时能够露出清洗盲区进行清理,解决了相关技术中盘状物夹持清洗时,与夹持点之间接触区域为清洗盲区无法清洗的技术问题。

天眼查资料显示,华海清科(北京)科技有限公司,成立于2019年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析,华海清科(北京)科技有限公司参与招投标项目82次,专利信息122条,此外企业还拥有行政许可9个。

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作者:情报员