国家知识产权局信息显示，福建省金石能源股份有限公司申请一项名为“一种板式PECVD设备进气与射频系统”的专利，公开号CN121407069A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明涉及光伏设备领域，公开了一种板式PECVD设备进气与射频系统，设置于设备的腔盖上，其包括九个特气进气口、四个远程等离子体源进气口以及与特气入口在数量和空间分布上相协同的射频电源馈入系统、具备主动调节能力的多级分流气体管路系统。九个特气进气口形成“周边对称包围 + 中心垂直注入”的均匀气体氛围，每个特气进气口处都对应设置有一个射频电源馈入点。四个远程等离子体源进气口分别沿布气盒的中心线呈对称分布位于平均划分的四个区域内。多级分流气体管路系统采用总管路通过若干分流支路与各进气口、清洗口连通，在若干分流支路上设置计量阀，通过流量控制器来控制各分流支路的流量。从而提高特气均匀性和RPS的清洗效果。

天眼查资料显示，福建省金石能源股份有限公司，成立于2016年，位于泉州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本21725.931万人民币。通过天眼查大数据分析，福建省金石能源股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息535条，此外企业还拥有行政许可20个。

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作者：情报员