国家知识产权局信息显示，无锡动源电子科技有限公司申请一项名为“一种离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机”的专利，公开号CN121416393A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种离子注入机靶盘温度在线监测系统、监测方法及离子注入机，包括机体，固定连接在机体顶部的承载板，固定安装在承载板顶部的靶向室，固定安装在承载板顶部且位于靶向室内部的靶盘，所述承载板的顶部设置有测温结构，所述测温结构包括通过轴承活动连接在承载板顶部的传动杆。本发明通过传动结构带动支撑板旋转，支撑板利用支架带动热电偶探头同步围绕离子源的冲击部分旋转，可以提高测量范围，避免出现测量死角，本发明能够改进现有离子注入机靶盘温度的检测方式，替代通过在机体外部设置监控设备监控进行测量的方法，减少监控设备与靶盘之间的距离，避免产生测量误差，防止在测量过程中会被向下冲击的离子束遮挡。

天眼查资料显示，无锡动源电子科技有限公司，成立于2012年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本460万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡动源电子科技有限公司参与招投标项目6次，专利信息2条，此外企业还拥有行政许可5个。

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作者：情报员