国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司取得一项名为“一种接触式表面形貌测量装置”的专利，授权公告号CN223856394U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请公开了一种接触式表面形貌测量装置，该装置包括测试台、测量模块和上位机。测量模块包括探针、施压组件、电容传感器和数据处理电路。探针与施压组件连接，探针的针头与测试台的放置平面垂直设置，施压组件为探针提供压向放置平面的压力，使探针的针头保持与待测晶圆的表面接触；电容传感器包括动极板和静极板；动极板与探针连接，动极板能随着探针沿针头延伸方向，相对于静极板运动；数据处理电路分别与动极板和静极板连接，数据处理电路能够根据动极板与静极板之间的电容值，生成数字量采样数据。上位机与数据处理电路连接，根据数字量采样数据还原待测晶圆的表面形貌，实现了利用电容传感器对晶圆的表面形貌的测量，提高了测量准确度。

天眼查资料显示，无锡卓海科技股份有限公司，成立于2009年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7168.6725万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目103次，财产线索方面有商标信息34条，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可40个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员