国家知识产权局信息显示,嘉兴微拓电子科技股份有限公司申请一项名为“一种具有复合式旋转升降结构的晶圆检测设备及检测方法”的专利,公开号CN121443028A,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本发明提出一种具有复合式旋转升降结构的晶圆检测设备及检测方法,该设备包括包括外部支撑组件、内部支撑组件、横向移载组件、旋转升降组件、晶圆载托组件及扫描检测组件,该晶圆检测设备采用旋转电机通过齿轮传动结构驱动旋转内筒带动花键筒旋转,同时升降电机通过丝杆螺母副驱动升降连板带动支托芯管升降,实现复合运动,横向载台通过交叉滚子导轨导向并由直线电机驱动,配合光栅尺实现精确移动;载托吸盘通过真空吸附固定晶圆,随支托芯管完成复合运动;扫描支座中的检测探头对通过扫描隙口的晶圆进行检测,具有运动精度高、检测覆盖全、适应性强、运行稳定等优点。

天眼查资料显示,嘉兴微拓电子科技股份有限公司,成立于2014年,位于嘉兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,嘉兴微拓电子科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,专利信息32条,此外企业还拥有行政许可3个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员