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案例：电子级四甲基氢氧化铵(TMAH)废水处理

项目背景

某半导体企业晶圆生产线使用2.38%TMAH作为显影液，每月产生约800m³含TMAH废水，浓度50-200mg/L，同时含有微量光刻胶残留。此类废水对神经系统有强烈毒性，传统方法难以有效分解。

处理技术难点

TMAH在低浓度下仍具有高毒性

需要完全矿化为无害物质

处理过程不能产生二次污染

专有处理工艺

开发"臭氧催化氧化+生物滤池"组合系统：

pH调节池

：加酸调节至pH=3-

均相催化臭氧塔

：O3投加量80g/m³，Fe2+/Mn2+复合催化剂

生物活性炭滤池

：EBCT=30min，接种特殊驯化菌种

在线毒性监测

：采用发光细菌法实时监控

达标情况

连续监测表明：

TMAH去除率>99.9%，出水浓度<0.1mg/L

COD从300mg/L降至20mg/L以下

急性毒性指标从原水的TU50=12降至TU50>

处理水全部回用于冷却塔补水