国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种刻蚀腔体、刻蚀设备”的专利,授权公告号CN223871444U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种刻蚀腔体、刻蚀设备,刻蚀腔体包括形成腔室的壁体和位于腔室的内衬,还包括内嵌于壁体内的多个加热器和多个冷却管路,加热器沿腔室的水平周向分布,加热器的下端位于壁体对应腔室底部的位置,加热器的上端位于高于内衬的最低端的位置;冷却管路沿竖向分布,至少两个冷却管路分别位于高于内衬的最低端的位置和低于内衬的最低端的位置,冷却管路沿腔室的水平周向环绕腔室。本实用新型的刻蚀腔体能够更有效地控制腔室与内衬的温度。
天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目258次,财产线索方面有商标信息32条,专利信息476条,此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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