来源：新浪基金∞工作室

2月3日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）收盘涨3.32%，成交额17.70亿元。

半导体设备ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止2月2日，半导体设备ETF（159516）最新份额为114.80亿份，最新规模为200.42亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加96.15%，规模增加122.41%。

流动性方面，截止2月3日，半导体设备ETF（159516）近20个交易日累计成交金额454.23亿元，日均成交金额22.71亿元；今年以来，22个交易日，累计成交金额482.95亿元，日均成交金额21.95亿元。

半导体设备ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益83.98%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF（159516）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下。

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）002371北方华创14.47%284.08万13.04亿688012中微公司11.93%394.09万10.75亿688072拓荆科技7.08%193.27万6.38亿300604长川科技5.76%513.81万5.19亿688126沪硅产业5.31%2211.13万4.78亿688120华海清科4.75%286.67万4.28亿688361中科飞测4.11%242.06万3.70亿300346南大光电3.78%793.62万3.40亿688019安集科技3.26%134.65万2.93亿688037芯源微3.06%185.50万2.75亿

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