国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“气体流量监控方法及监控装置以及退火方法”的专利,公开号CN121443005A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明提供了一种气体流量监控方法及监控装置以及退火方法,通过提供监控结构,在氨气氛围中对所述监控结构执行退火工艺,然后获取退火后的所述监控结构中的氮钛比例,并根据所述监控结构中的氮钛比例以及氮钛比例与氨气流量的关系模型,得到所述氨气氛围中的氨气流量情况,从而实现对于氨气流量的监控,便于工艺控制,提高产品质量。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目190次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息963条,此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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