国家知识产权局信息显示，东莞市元素真空科技有限公司取得一项名为“一种应用于溅射镀膜设备中的工艺气体输送系统及排气管”的专利，授权公告号CN223866749U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种应用于溅射镀膜设备中的工艺气体输送系统及排气管，其包括位于镀膜腔室外的三流量计组以及连通三所述流量计组的输气管路，其特征在于：所述输气管路包括依次连通的进气管路、进气接口、合拢管、出气接口和出气管路，所述进气管路与流量计组连通，其上设有第一阀门；所述出气管路连通位于镀膜腔室内的排气件，且出气管路上设有第二阀门。因出气管路连通的排气件位于镀膜腔室内，而镀膜腔室内为真空状态，而上述流量计组和输气管路位于镀膜腔室外，并大于一个标准大气压，使流量计组排出的气体能并迅速吸入镀膜腔室中，且气体在输气管路内输送时，相互间的碰撞进一步加强了气体的混合效果。

天眼查资料显示，东莞市元素真空科技有限公司，成立于2024年，位于东莞市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市元素真空科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息10条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员