国家知识产权局信息显示，华芯程（杭州）科技有限公司申请一项名为“形貌感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备”的专利，公开号CN121457407A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本申请公开了一种形貌感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备，其中，该形貌感知光学邻近效应修正方法包括获取原始设计版图；对原始设计版图进行CMP仿真，生成晶圆形貌数据；基于EUV三维掩模模型和晶圆形貌数据构建耦合光学模型；根据多重图形化工艺规则对设计版图进行布局分解，得到至少两个掩模版图；采用耦合光学模型对至少两个掩模版图进行协同形貌感知光学邻近效应修正，得到至少两个修正后的掩模版图；其中，对当前掩模版图进行修正时，所采用的光学邻近环境包括基于耦合光学模型生成的历史掩模修正结果。本申请可以提高先进工艺节点的成像精度。

天眼查资料显示，华芯程（杭州）科技有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1010.688237万人民币。通过天眼查大数据分析，华芯程（杭州）科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息63条，专利信息153条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员