国家知识产权局信息显示，细美事有限公司;高丽大学校 产学协力团申请一项名为“散热材料、散热材料的制备方法以及静电卡盘”的专利，公开号CN121450306A，申请日期为2025年6月。

专利摘要显示，本发明提供一种散热材料、散热材料的制备方法以及静电卡盘，以使得温度可以向基板的全区域均匀地分布。根据本发明的提供于在利用等离子体的基板处理装置中支承基板的静电卡盘的散热材料的制备方法包括：形成处理为在各向同性粒子的表面带有第一电位的第一粒子分散液的步骤；形成处理为在各向异性粒子的表面带有与所述第一电位不同的第二电位的第二粒子分散液的步骤；以及将所述第一粒子分散液和所述第二粒子分散液混合而形成所述各向同性粒子和所述各向异性粒子通过静电力结合的复合粒子的步骤。

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作者：情报员