国家知识产权局信息显示,上海季丰电子股份有限公司;北京亦庄季峰检测技术有限公司申请一项名为“一种超薄TEM样品制备方法”的专利,公开号CN121453487A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体技术领域,提供了一种超薄TEM样品制备方法。该方法包括:建立XYZ三维坐标系;对待测器件进行一次纵切处理,得到第一纵截面TEM样品;确定并标记第一纵截面TEM样品中的目标结构区域,并在第一纵截面TEM样品的第一、第二以及第六表面上制备第一保护层,得到第一保护样品;将第一保护样品依次沿Y轴、X轴各旋转90度,并在第一保护样品的第二表面和/或第六表面上制备第二保护层,得到第二保护样品;对第二保护样品进行二次纵切处理,得到第二纵截面TEM样品。本申请制得厚度在40nm以下的超薄TEM样品,且能够观察到待测器件的两个纵截面,可从更多维度去观察器件的形貌并准确分析其失效原因。
天眼查资料显示,上海季丰电子股份有限公司,成立于2008年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本11558.6万人民币。通过天眼查大数据分析,上海季丰电子股份有限公司共对外投资了15家企业,参与招投标项目53次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息151条,此外企业还拥有行政许可21个。
北京亦庄季峰检测技术有限公司,成立于2024年,位于北京市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,北京亦庄季峰检测技术有限公司参与招投标项目3次,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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