来源：新浪基金∞工作室

数据显示，2月4日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回2074.6万元，位居当日股票ETF净流出排名89/1119。最新规模27.25亿元，前一日规模27.57亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.75%。

近5日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回1.29亿元，位居股票ETF净流出排名第52/1119。近10日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回3167.77万元，位居股票ETF净流出排名第152/1119。近20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购17.81亿元，位居股票ETF净流入排名第39/1119。

华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)已连续3日资金遭净赎回，区间净流出额1.84亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止2月4日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为14.42亿份，最新规模为27.25亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加194.42%，规模增加244.24%。

流动性方面，截止2月4日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日累计成交金额49.23亿元，日均成交金额2.46亿元；今年以来，23个交易日，累计成交金额54.03亿元，日均成交金额2.35亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益107.29%。

最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下：

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）002371北方华创14.18%24.44万1.12亿688012中微公司12.67%36.76万1.00亿688072拓荆科技7.00%16.78万5537.00万300604长川科技5.67%44.27万4484.99万688126沪硅产业5.22%191.03万4133.83万688120华海清科4.68%24.67万3702.13万688361中科飞测4.05%20.93万3201.59万300346南大光电3.73%68.90万2955.91万688019安集科技3.24%11.76万2562.61万688037芯源微3.02%16.07万2387.30万

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码名称基金规模(亿元)
20260204近1月日均成交额
(亿元)净申购(亿元)
20260204近1周净申购
(亿元)近1月净申购
(亿元)基金公司159516国泰中证半导体材料设备主题ETF209.0521.470.9519.32107.78国泰基金159558易方达中证半导体材料设备主题ETF46.673.050.00002.4329.00易方达基金560780广发中证半导体材料设备ETF39.812.29-0.28-0.5823.47广发基金562590华夏中证半导体材料设备主题ETF27.252.35-0.21-1.2918.58华夏基金159327万家中证半导体材料设备主题ETF11.090.84-0.04-0.184.69万家基金

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