国家知识产权局信息显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请一项名为“一种加热器组件及前驱体传输管路的加热方法”的专利,公开号CN121451148A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供了一种加热器组件、一种前驱体传输管路的加热方法,以及一种计算机可读存储介质。所述加热器组件包括多个加热件,其中,第一加热件设于前驱体储罐出口,第二加热件设于第一工艺腔室入口,第三加热件设于连接所述前驱体储罐出口及所述第一工艺腔室入口的管路,所述第一加热件的第一工作温度小于所述第三加热件的第三工作温度,所述第三工作温度小于所述第二加热件的第二温度。

天眼查资料显示,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司,成立于2023年,位于沈阳市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息465条,此外企业还拥有行政许可16个。

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作者:情报员