国家知识产权局信息显示,南京原磊纳米材料有限公司申请一项名为“一种真空系统用的二段行程的驱动载台及真空传输腔”的专利,公开号CN121463773A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体器件生产技术领域,提供一种真空系统用的二段行程的驱动载台及真空传输腔,驱动载台包括一段驱动机构和二段驱动机构,二段驱动机构包括底座、波纹管、密封筒体、支撑筒体和驱动装置;波纹管连接底座和真空腔;密封筒体连接底座,支撑筒体设置在密封筒体内侧,且连接驱动装置运动末端的第二转动螺母;底座固定连接一段驱动机构的活动端。本申请通过设置两段行程的结构,在相对较小的空间,实现晶圆承载台预定高度的行程设计,从而有效降低晶圆承载台的初始高度,增大晶圆承载台的上下运动的行程,在取放晶圆的机械手位置固定的情况下,提高存储盒内晶圆的存储量,提高存储盒的存储效率。
天眼查资料显示,南京原磊纳米材料有限公司,成立于2018年,位于南京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4140.5988万人民币。通过天眼查大数据分析,南京原磊纳米材料有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目41次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息79条,此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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