国家知识产权局信息显示,科磊股份有限公司申请一项名为“用于局部变化检测的空间变化光谱计量”的专利,公开号CN121464333A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,一种计量系统可包含用于产生照明光束的光源,及经配置以将所述照明光束引导到样本且收集来自所述样本的样本光的光谱计量子系统。所述光谱计量子系统可包含具有照明偏光器或照明补偿器中的至少一者的照明光学器件,及具有集光偏光器或集光补偿器中的至少一者的集光光学器件。所述计量系统可包含用于将来自所述集光光学器件的所述样本光剪切成两个经剪切光束的剪切式光栅,及用于基于所述两个经剪切光束在一多像素检测器上产生所述样本的测量数据的光谱仪,其中所述测量数据既经光谱分辨且具有在小于所述照明光束的光点大小的长度尺度上空间变化的分量。所述系统可进一步基于所述测量数据产生计量测量。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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