2026年中国半导体真空阀门市场专项调研及企业十五五规划建议报告|中国|十五五规划|阀门

半导体真空阀门在半导体设备中需求旺盛规范化为行业发展主要方向

半导体真空阀门，指能够通过调节、切断或接通管路，维持和控制特定真空环境的半导体阀门。与传统工业级真空阀门相比，半导体真空阀门具备安全可靠性高、使用寿命长、洁净度高、响应速度快等特点，在半导体离子注入设备、薄膜沉积设备、去胶与清洗设备以及刻蚀设备中应用较多。
2023年10月，由上海市闵行区中小企业协会发布的团体标准《T/SHMHZQ 021—2023 半导体真空阀门技术要求规范》正式实施，文件针对半导体真空阀门的技术要求、基本参数、形式、运输、包装以及标志等内容进行了明确规范。在此背景下，我国半导体真空阀门行业将逐渐往规范化方向发展。
半导体真空阀门类型多样，主要包括传输阀、隔离阀、插板阀以及调压阀等。传输阀主要安装于腔体之间或腔体与负载锁之间的传输通道中；隔离阀主要用于连接或隔离工艺腔室与传输腔室；调压阀又称控制阀，能够调节真空腔室内的压力和气体流量。

根据新思界产业研究中心发布的《2026年中国半导体真空阀门市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，半导体真空阀门主要应用于半导体设备中。近年来，随着我国半导体产业发展速度加快，半导体设备市场空间不断扩展。2024年我国半导体设备市场规模达到近450亿美元，同比增长近15%。半导体真空阀门能够连接工艺腔室、真空泵、传输腔室等半导体设备关键组件，未来随着市场需求逐渐释放，其行业景气度将得到进一步提升。
我国半导体真空阀门主要生产企业包括东莞市沃成科技有限公司、神通半导体科技（南通）有限公司、无锡凯必特斯半导体科技有限公司等。凯必特斯半导体专注于半导体真空阀门及加热零部件的研发、生产及销售，士兰半导体、华润微、中芯国际、积塔半导体等晶圆制造商为其主要客户。2025年11月，凯必特斯半导体完成数千万元A+轮融资，资金将用于半导体真空阀门技术创新过程中。
新思界行业分析人士表示，半导体真空阀门综合性能优良，在半导体设备中拥有广阔应用前景。未来随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国半导体真空阀门市场空间将得到进一步扩展。目前，我国已有多家企业具备半导体真空阀门研发及生产实力，凯必特斯半导体占据市场较大份额。