国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司申请一项名为“静电夹具装置”的专利,公开号CN121464402A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本公开涉及静电夹具装置,静电夹具装置包括:夹具构件,夹具构件包括至少一个电极和第一导电层;安装构件,安装构件包括第二导电层,夹具构件被安装在第二导电层上;以及介电层,介电层被夹在第一导电层与第二导电层之间。

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作者:情报员