国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体器件的制备方法”的专利,公开号CN121463550A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请提供了一种半导体器件的制备方法,包括在衬底上形成第一栅极结构和第二栅极结构,第一栅极结构位于逻辑区域内,第二栅极结构位于像素区域内;对第一栅极结构两侧的衬底进行离子注入,以在衬底内形成第一源漏区;在衬底上形成第一阻挡层,第一阻挡层还顺形覆盖第一栅极结构和第二栅极结构的外表面;对第二栅极结构两侧的衬底进行离子注入,以在衬底内形成第二源漏区;去除第一阻挡层,并至少在衬底的表面位于像素区域内的部分注入氟离子;执行第一退火工艺;在衬底上形成第二阻挡层,第二阻挡层还顺形覆盖第一栅极结构和第二栅极结构的外表面。本申请能够修复衬底表面由于去除第一阻挡层时产生的损伤,同时避免第二阻挡层产生鼓包现象。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1613条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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