国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“一种进气系统及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN223884395U，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本申请公开了一种进气系统及半导体工艺设备，进气系统用于给半导体工艺设备的反应腔供气，所述进气系统包括：主进气模块，用于连接第一流量的气源；快速进气模块，内部设有相互连通的进气通道和出气通道，所述进气通道用于连接第二流量的气源，所述出气通道用于连接所述反应腔，其中，所述第二流量小于所述第一流量；第一连接管路，一端与所述主进气模块连通，另一端与所述出气通道连通，所述第一连接管路上设有第一阀门；第二连接管路，一端与所述主进气模块连通，另一端与所述进气通道连通，所述第二连接管路上设有第二阀门。本申请可以提高快速进气模块的流量计的校准精度，以及提高主进气模块和快速进气模块的流量计的校准结果的一致性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1368次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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作者：情报员