国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司取得一项名为“一种带有锥形分隔体的内腔体结构及其PEALD设备”的专利，授权公告号CN223879831U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种带有锥形分隔体的内腔体结构及其PEALD设备，涉及镀膜设备技术领域。包括内腔体，所述内腔体内设置有适于放置晶圆载盘的载台；所述载台上方设置有分隔体，所述分隔体适于在所述载台上方形成从上到下开口逐步增大的锥形反应空间，所述锥形反应空间的上方适于连接反应源以使进入的所述反应源能均匀地分布在所述载台表面。通过本方案可以提高膜厚均匀性，实现反应区域独立性，提高前驱体利用率。

天眼查资料显示，厦门韫茂科技有限公司，成立于2018年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本627.726476万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门韫茂科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目105次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息114条，此外企业还拥有行政许可12个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员