国家知识产权局信息显示，周星工程股份有限公司申请一项名为“基板处理设备及基板处理方法”的专利，公开号CN121451149A，申请日期为2021年1月。

专利摘要显示，本发明涉及基板处理设备及基板处理方法。基板处理设备包括：腔室；基板支撑部被可旋转地安装在腔室内的工艺空间中，以允许至少一个基板位于其上；第一气体喷射单元，用于向工艺空间的第一区域喷射源气体和用于吹扫源气体的第一吹扫气体；源气体供应源，用于将源气体供应到第一气体喷射单元；第一吹扫气体供应源，用于将第一吹扫气体供应到第一气体喷射单元；第二气体喷射单元，与第一区域在空间上分离，且被配置成向工艺空间的第二区域喷射与源气体反应的反应气体和用于吹扫反应气体的第二吹扫气体；反应气体供应源，用于将反应气体供应到第二气体喷射单元；和第二吹扫气体供应源，用于将第二吹扫气体供应到第二气体喷射单元。

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作者：情报员