证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”,专利申请号为CN202411348831.8,授权日为2026年2月6日。

专利摘要:本申请实施例提供了一种用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备,承载头包括:承载头主体;保持环,保持环设置至承载头主体朝向晶圆的一侧,并能够将晶圆限位在其中部位置,保持环开设有沿着其轴向贯通的安装孔;防滑片机构,防滑片机构至少部分位于安装孔内,防滑片机构的防滑片主体包括轴向延伸的杆件和设置在杆件的朝向抛光单元的一端的防滑组件,杆件位于安装孔内,并能够在第一位置和第二位置之间往复运动,防滑组件阻挡晶圆。本申请实施例提供一种用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备,能够避免晶圆由承载头和抛光单元之间滑出。

今年以来华海清科新获得专利授权5个,较去年同期减少了16.67%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元,同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目257次;财产线索方面有商标信息89条,专利信息794条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源:天眼查APP

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