国家知识产权局信息显示,武汉驿天诺科技有限公司申请一项名为“一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置”的专利,公开号CN121463769A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种带有吸附固定结构的晶圆定位装置,涉及晶圆加工领域,包括基座;活动组件,其装配于所述基座的端部,通过所述活动组件对晶圆边缘吸附状态进行调整;该带有吸附固定结构的晶圆定位装置,通过活动组件对晶圆的边缘吸附进行动态调节,进而调节晶圆边缘吸附平整度,可以根据实际情况实时调整吸附力或吸附面的位置,确保晶圆的边缘能够均匀且牢固地吸附在吸附平台上,从而提升晶圆的吸附平整度和一致性;同时精确调整吸附力和吸附区域,能够实现对晶圆边缘平整度的动态控制,从而保证吸附过程的稳定性,避免由于吸附不均而引起的生产波动,确保后续工艺的高精度执行。
天眼查资料显示,武汉驿天诺科技有限公司,成立于2009年,位于武汉市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1445.3773万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉驿天诺科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息41条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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