国家知识产权局信息显示,北京芯力技术创新中心有限公司申请一项名为“高密度多层芯片晶圆堆叠方法及半导体器件”的专利,公开号CN121487635A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明提供一种高密度多层芯片晶圆堆叠方法和半导体器件,方法包括:芯片等离子体活化和清洗:对晶圆进行电性测试并切割,筛选出电性合格的芯片,对合格芯片进行等离子体活化与清洗,并旋涂去离子水;芯片到晶圆混合键和:取出芯片(B),与晶圆(A)执行芯片到晶圆混合键和工艺;晶圆(A)入厂检测:在晶圆(A)入厂后进行颗粒污染检测,检测膜厚、表面形貌;互连结构制作:在晶圆(A)表面采用铜大马士革工艺制作包括混合键和的导电孔/焊盘结构在内的电路互连结构;键合后退火。利用本发明,能够在保证最终良品率的前提下真正实现单位体积晶体管密度提升。
天眼查资料显示,北京芯力技术创新中心有限公司,成立于2023年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本65051.5464万人民币。通过天眼查大数据分析,北京芯力技术创新中心有限公司参与招投标项目465次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息67条,此外企业还拥有行政许可59个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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