国家知识产权局信息显示,苏州中瑞宏芯半导体有限公司申请一项名为“一种半导体芯片浸蚀装置”的专利,公开号CN121487514A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体芯片浸蚀装置,包括浸蚀箱,和用于带动晶圆固定机构运动的驱动机构,以及位于浸蚀箱内的分层组件,所述驱动机构包括升降组件和旋转组件,所述旋转组件包括旋转座和竖杆,所述竖杆顶端贯穿旋转座,所述竖杆上设置有多个横板,所述横板上贯穿有上旋转柱,所述上旋转柱与晶圆固定机构顶部相连接,所述分层组件包括多个平行分布的隔板,以及和浸蚀箱内壁焊接固定的底板,所述隔板和底板中心处均贯穿有固定筒。本发明将浸蚀箱内部分隔成多个蚀刻区,通过将晶圆分散在多个蚀刻区内,各蚀刻区内的晶圆蚀刻工作互不干扰,且每个蚀刻区内蚀刻液中的反应物浓度较低,能有效减少反应物附着在晶圆上的情况。
天眼查资料显示,苏州中瑞宏芯半导体有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本927.7342万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州中瑞宏芯半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息66条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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