国家知识产权局信息显示,捷捷微电(南通)科技有限公司申请一项名为“一种沟槽形成方法和半导体器件”的专利,公开号CN121487517A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本申请提供一种沟槽形成方法和半导体器件,涉及半导体制作技术领域,包括:在半导体层上形成掩膜图案层,掩膜图案层具有露出半导体层的窗口;在氧气氛围中,采用激光以脉冲方式照射窗口内的半导体层,以在半导体层上形成氧化区,采用湿法腐蚀氧化区以在半导体层中形成沟槽。通过脉冲激光照射半导体层使得半导体层温度升高,氧气与高温的半导体层反应生成氧化层,通过湿法腐蚀去除氧化层形成沟槽,腐蚀液不会与未发生氧化反应的半导体层反应,因此,半导体层并不会受到损伤,也不再需要修复,保证了半导体层的完整性

天眼查资料显示,捷捷微电(南通)科技有限公司,成立于2020年,位于南通市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本267961.97万人民币。通过天眼查大数据分析,捷捷微电(南通)科技有限公司参与招投标项目39次,专利信息83条,此外企业还拥有行政许可13个。

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作者:情报员