国家知识产权局信息显示,上海原力芯辰科技有限公司取得一项名为“一种镀膜装置”的专利,授权公告号CN223899618U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种镀膜装置,涉及半导体设备技术领域。镀膜装置包括腔体、进气管、排气管、进气调节阀以及排气调节阀腔体用于容置基底,腔体设置有至少两个进气管和至少两个排气管,进气管和排气管均与腔体的内部腔室连通,每个进气管均设置有进气调节阀,进气调节阀用于调节通过进气管的气流量,每个排气管均设置有排气调节阀,排气调节阀用于调节通过排气管的气流量,由此根据本实用新型的镀膜装置控制腔体内压力,使得基底表面各处压力分布更加均匀,以此控制腔体内多个位置的挥发速率基本一致,从而使得基底上成形的薄膜更加的均匀,提高了成膜的致密性和均匀性。

天眼查资料显示,上海原力芯辰科技有限公司,成立于2024年,位于上海市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海原力芯辰科技有限公司参与招投标项目3次,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可1个。

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作者:情报员