国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“晶圆扫描对准的控制方法、装置、系统和设备”的专利,公开号CN121482027A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆扫描对准的控制方法、装置、系统和设备,上述方法包括:通过并行的多个通道从图像获取设备接收晶圆图像数据,晶圆图像数据中包括图像获取设备对至少二个芯片进行扫描得到的图像数据;对从多个通道接收到的晶圆图像数据进行整合对齐以得到整合对齐后的晶圆图像数据;基于整合对齐后的晶圆图像数据进行芯片到芯片的图像对准误差计算,以获得误差补偿量;基于误差补偿量控制图像获取设备调节图像获取设备的参数,并基于调节参数后的图像获取设备进行晶圆图像扫描,以获得误差补偿后扫描得到的晶圆图像数据,晶圆扫描对准的控制速度快,交互过程简单,成本低,适用性强。

天眼查资料显示,深圳市新凯来工业机器有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息19条,专利信息212条,此外企业还拥有行政许可14个。

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作者:情报员