国家知识产权局信息显示,浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“调节机台长膜平坦度装置”的专利,授权公告号CN223892859U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,一种调节机长膜平坦度装置,包括:反应腔体;喷淋头,用于向反应腔体内通入工艺气体;加热盘,用于承载并加热放入反应腔体内的晶圆;调节杆,调节杆沿第一方向延伸,调节杆一端与加热盘固定连接,调节杆的另一端贯穿反应腔体的侧壁并延伸至反应腔体的外部;调节板,调节板设置于反应腔体的外部,且调节板与调节杆固定连接;刻度微调装置,刻度微调装置分别与调节板和反应腔体固定连接,刻度微调装置用于调节加热盘的倾斜幅度。通过增设刻度微调装置实现加热盘的倾斜幅度调整,使得每次的调节具有刻度的数据支撑,便于后期分析晶圆膜生长平坦度分析,不存在因人而异的质量问题。而且维护机台快速稳定晶圆膜生长平坦度数值要求,增加产品生产量。

天眼查资料显示,浙江创芯集成电路有限公司,成立于2020年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本214766.6666万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目274次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息564条,此外企业还拥有行政许可7个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员