国家知识产权局信息显示，浙江浙能科技环保集团股份有限公司;浙江大学衢州研究院申请一项名为“热丝化学气相沉积设备及制备掺硼金刚石薄膜电极的方法”的专利，公开号CN121496353A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种热丝化学气相沉积设备及制备掺硼金刚石薄膜电极的方法，涉及掺硼金刚石薄膜电极制备技术领域，包括控制系统，以及与控制系统电连接的真空系统、进气系统、加热系统和冷却系统，真空系统内用于形成反应腔室，且真空系统能够在控制系统的控制下抽真空，进气系统的出口伸入至真空系统内并连接有一供气元件，供气元件上设有多个通气孔，且进气系统用于经供气元件向真空系统内通入反应气体，加热系统的热丝位于真空系统内并用于对真空系统内部加热，且各热丝处均连接有一张紧机构，冷却系统用于对反应腔室内冷却。本发明能够实现对气流场和温度场的精准控制，且具备热丝张紧功能，结构简单、薄膜沉积质量高。

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作者：情报员