国家知识产权局信息显示,麦斯克电子材料股份有限公司取得一项名为“一种晶圆边缘快速抛光装置”的专利,授权公告号CN223889713U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型涉及抛光装置技术领域,公开了一种晶圆边缘快速抛光装置,旨在解决现有技术中晶圆边缘抛光时定位效果不佳及抛光碎屑难以收集的问题。该装置包括支撑筒,其上端设有放置晶圆的网环与固定组件,下端为集尘空腔;支撑筒上设有导向组件、转动组件和抛光组件。通过启动电机调节抛光板位置,使其贴合不同直径的晶圆边缘,利用电机驱动齿轮沿齿环运动实现抛光板的移动抛光。此外,设置抽气组件,在抛光过程中启动抽气扇,经阻隔网阻挡后将碎屑收集至集尘空腔内,避免环境污染及对晶圆造成损害。本实用新型不仅提高了抛光效率,还能有效收集抛光碎屑,确保了操作环境的清洁度和晶圆的安全性。
天眼查资料显示,麦斯克电子材料股份有限公司,成立于1995年,位于洛阳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本18505.6088万人民币。通过天眼查大数据分析,麦斯克电子材料股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目505次,财产线索方面有商标信息13条,专利信息332条,此外企业还拥有行政许可103个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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