国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“气体供应装置、气体供应控制方法以及基板处理装置”的专利，公开号CN121506833A，申请日期为2025年5月。

专利摘要显示，本发明提供一种可以在互锁情况下进行切断以使得气体不向工艺腔体流动的气体供应装置、气体供应控制方法以及基板处理装置。在根据本发明的基板处理装置中，向工艺腔体供应气体的气体供应装置包括：第一供应线，连接于气体供应源；排气线，在所述第一供应线的分支点分支并向排气端延伸；第二供应线，在所述第一供应线的所述分支点分支；流量控制器，连接于所述第二供应线；第三供应线，连接于所述流量控制器和所述工艺腔体之间；工艺切断阀，配置于所述第三供应线；以及排气阀，配置于所述排气线。若发生互锁情况，则所述工艺切断阀工作以关闭；若发生所述互锁情况，则所述排气阀工作以开启。

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作者：情报员