国家知识产权局信息显示,贵州佳安机器人科技有限公司;贵州绿色产业技术研究院申请一项名为“一种复合型机器人及其工作方法”的专利,公开号CN121491977A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种复合型机器人及其工作方法,涉及半导体制造设备技术领域,包括移动基座,移动基座的底部设有多个移动轮,移动基座的顶部固定安装有机器人主体,机器人主体的顶部滑动安装有滑座,机器人主体的内部设有驱动机构并与滑座连接,滑座的顶部安装有机械臂,机器人主体的顶部活动设有料盒;静电释放机构,静电释放机构包括导电环形板、第一导电板、第二导电板以及导电接地轮。本发明可以将静电有效的转移至地面上进行释放,有效的避免了机械臂上、机器人主体上以及移动基座上积存大量静电,从而有效的避免了静电较多较大而对晶圆材料造成损坏,也有效的避免了静电较多较大而对机器人主体和移动基座造成工作影响。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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