证券之星消息，2月12日，国泰中证半导体材料设备主题ETF基金（159516）涨0.61%，成交额10.58亿元。当日份额增加了1.3亿份，最新份额为120.19亿份，近20个交易日份额增加40.54亿份。当日资金净流入3.44亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为217.97亿元。国泰中证半导体材料设备主题ETF基金跟踪标的为中证半导体材料设备主题指数，成立（2023-07-19）以来超额回报为5.73%，近一个月超额回报为-0.09%，管理人为国泰基金公司，基金经理为艾小军。